| 高纯液氯的纯化技术 |
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| 引用本文： | 赵菁.高纯液氯的纯化技术[J].广州化工,2022,50(8):37-39. |
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| 作者姓名： | 赵菁 |
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| 作者单位： | 洛阳佳蓝环保科技有限公司, 河南 洛阳 471000 |
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| 摘 要： | 随着微电子、新型半导体材料和大规模集成电路技术的快速发展,对高纯液氯的质量要求不断提高,要求其具有更低的杂质含量,因此高纯液氯的纯化技术受到广泛关注.本文介绍了高纯液氯的基本性质和应用领域,概述了国内外高纯液氯的研制、纯化以及去除其中特定杂质的方法.展望了高纯液氯纯化技术的发展,高纯氯气作为重要的电子气体将发挥重要的作...
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| 关 键 词： | 高纯液氯 纯化技术 吸附 精馏 大规模集成电路 |
Method for Producing High Purity Liquid Chlorine |
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| ZHAO Jing.Method for Producing High Purity Liquid Chlorine[J].GuangZhou Chemical Industry and Technology,2022,50(8):37-39. |
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| Authors: | ZHAO Jing |
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