| 热氧化对工业化n-TOPCon太阳电池的性能影响研究 |
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| 引用本文： | 陈文浩,王闻捷,于元元,陈鹏辉,郑波,袁声召,万义茂.热氧化对工业化n-TOPCon太阳电池的性能影响研究[J].功能材料,2022,53(2):2162-2166+2181. |
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| 作者姓名： | 陈文浩 王闻捷 于元元 陈鹏辉 郑波 袁声召 万义茂 |
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| 作者单位： | 南昌航空大学 测试与光电工程学院,南昌 330063;东方日升新能源股份有限公司,浙江 宁波 315609,上海交通大学 物理与天文学院,人工结构及量子调控教育部重点实验室,太阳能研究所,上海 200240;东方日升新能源股份有限公司,浙江 宁波 315609,东方日升新能源股份有限公司,浙江 宁波 315609 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划项目（2018YFB1500503）； |
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| 摘 要： | 借助磷掺杂多晶硅钝化接触结构卓越的钝化质量，n-TOPCon太阳电池可获得极佳的电学性能表现。在实际工业化制造过程，获得高性能量产n-TOPCon电池的关键之一是需要实现电池双面钝化结构的匹配与优化。对于硼扩散制备而成的电池正表面，工业上常采用叠层钝化膜沉积前添加热氧化工艺来优化钝化质量。该热氧化过程对n-TOPCon电池正反面钝化结构以及最终的电池电学性能可能造成的影响，进行了详细探究；发现热氧化过程可以优化重掺杂硼扩面的钝化质量，而对于轻掺杂硼扩面有害无益，同时热氧化会导致掺杂多晶硅钝化接触结构的钝化质量下降。未经过氧化处理的n-TOPCon电池在光注入退火工艺处理后可以获得更大的电学性能增益。使用无氧化工艺获得了平均效率达24.02%,最高效率为24.34%的量产n-TOPCon太阳电池。
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| 关 键 词： | 钝化接触结构 TOPCon 热氧化 钝化膜 晶硅太阳电池 |
Influence of thermal oxidation on the performances of industrial n-TOPCon solar cells |
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| CHEN Wenhao,WANG Wenjie,YU Yuanyuan,CHEN Penghui,ZHENG Bo,YUAN Shengzhao,WANG Yimao.Influence of thermal oxidation on the performances of industrial n-TOPCon solar cells[J].Journal of Functional Materials,2022,53(2):2162-2166+2181. |
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| Authors: | CHEN Wenhao WANG Wenjie YU Yuanyuan CHEN Penghui ZHENG Bo YUAN Shengzhao WANG Yimao |
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