| 一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台 |
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| 引用本文： | 解滨,尼启良,巩岩,曹继红,陈波. 一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台[J]. 测试技术学报, 2003, 17(2): 138-140 |
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| 作者姓名： | 解滨 尼启良 巩岩 曹继红 陈波 |
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| 作者单位： | 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022 |
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| 摘 要： | 一种用于紫外多层膜反射率那0量的样品台，由步进电机驱动．其构成由三个部分：机械系统，计算机控制系统，单片机控制系统．最后对极紫外多层膜进行了测量，结果显示该系统满足使用要求，运行可靠．
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| 关 键 词： | 极紫外多层膜 反射率 步进电机 测量平台 机械系统 计算机控制系统 单片机控制系统 |
| 文章编号： | 1671-7449(2003)02-0138-03 |
| 修稿时间： | 2002-10-31 |
Platform for Measuring the Reflectivity of EUV Multiplayer Films |
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| XIE Bing,NI Qi liang,GONG Yan,CAO Ji hong,CHEN Bo. Platform for Measuring the Reflectivity of EUV Multiplayer Films[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 2003, 17(2): 138-140 |
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| Authors: | XIE Bing NI Qi liang GONG Yan CAO Ji hong CHEN Bo |
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| Abstract: | A platform is introduced to measure the reflectivity of multiplayer films in EUV band. Three main composing parts are mechanical system, computer controlling system and micro processing unit system. The experimental results indicate that the system meets the application requirement and works reliably. |
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| Keywords: | multiplayer films in EUV reflectivity step motor platform |
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