高温退火处理对低温同向热解碳表面氧化钛薄膜改性的影响 |
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引用本文: | 黄琼俭,黄楠,徐益.高温退火处理对低温同向热解碳表面氧化钛薄膜改性的影响[J].材料导报,2014(16):59-62. |
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作者姓名: | 黄琼俭 黄楠 徐益 |
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作者单位: | 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室;重庆工业职业技术学院科技处; |
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基金项目: | 国家自然科学基金(81270701) |
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摘 要: | 采用非平衡磁控溅射设备在热解碳表面沉积氧化钛薄膜,并置于超高真空环境中进行高温退火处理。利用X射线衍射评价薄膜的晶体结构;使用台阶仪分析退火前后薄膜表面曲率变化;采用纳米划痕法评价薄膜与基体之间的结合力。实验结果表明,高温退火处理不会改变氧化钛薄膜的相结构,仅使薄膜晶粒尺寸长大,结晶更完整;台阶仪扫描结果显示经过高温处理后薄膜表面发生的变形减小,显示出薄膜内应力减小;纳米划痕测试分析得出,高温退火处理可以提高薄膜与基体之间的膜基结合力。
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关 键 词: | 高温退火处理 表面改性 氧化钛 |
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