| 微小器件热特性测量新方法 |
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| 引用本文： | 盖兆宇,周围,杨小兵,郭潇菲.微小器件热特性测量新方法[J].测试技术学报,2015(1). |
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| 作者姓名： | 盖兆宇 周围 杨小兵 郭潇菲 |
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| 作者单位： | 1. 北京微电子技术研究所,北京,100076
2. 兰州空间技术物理研究所,甘肃 兰州,730000 |
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| 摘 要： | 微小器件热特性具有快速产生、不可逆、易损坏器件等性质,较难在瞬间捕捉到它变化的一些信息.为了研究微小器件热特性,本文引入了一种测试器件热性能的新方法——反射率热成像法,并对该种方法的成像原理、功能应用作了简单介绍.在实际测试小器件热特性过程中,应用反射率热成像系统与红外热像仪进行了对比测试,结果表明:反射率热成像系统空间分辨率更高,达到亚微米量级;时间分辨率更高,达到百纳秒级;对样品温度要求低,温度范围更大,不需要对样品加热;只需对新材料进行校准,无需对样品表面进行逐点校准.在要求高分辨率、超快速的微小尺寸热测试领域,反射率热成像仪有着很好的应用前景.
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| 关 键 词： | 微小器件 热特性 反射率热成像 红外热成像 |
New Measurement Method of Thermal Characteristics for Small Devices |
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| GE Zhaoyu,ZHOU Wei,YANG Xiaobing,GUO Xiaofei.New Measurement Method of Thermal Characteristics for Small Devices[J].Journal of Test and Measurement Techol,2015(1). |
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| Authors: | GE Zhaoyu ZHOU Wei YANG Xiaobing GUO Xiaofei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | small devices thermal characteristics thermoreflectance thermography infrared thermogra-phy |
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