| 基于跨阻放大器的动态微弱电容检测电路 |
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| 引用本文： | 穆林枫,张文栋,何常德,薛晨阳.基于跨阻放大器的动态微弱电容检测电路[J].测试技术学报,2015(1). |
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| 作者姓名： | 穆林枫 张文栋 何常德 薛晨阳 |
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| 作者单位： | 中北大学 电子测试国家重点实验室，山西 太原 030051; 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原 030051 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目，国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 基于MEMS技术的微电容超声传感器(CMUT),因具有易制造、易阵列化、噪声低、稳定性好以及批量化生产等众多优点,成为未来高频超声传感器发展的主要方向.本文介绍了微电容超声传感器的工作原理,提出了跨阻放大器检测电路,它能将电容信号转换为相应的电压信号(C/V转换),再通过放大、滤波得出电容的变化量.该电路能很好地抑制杂散电容的影响,有很好的线性和稳定性,在400kHz的超声波作用下的灵敏度为1.64mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测.
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| 关 键 词： | CMUT 跨阻放大器 检测电路 杂散电容 灵敏度 |
Micro Capacitance Detection Circuit Based on Transimpedance Amplifier |
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| MU Linfeng,ZHANG Wendong,HE Changde,XUE Chenyang.Micro Capacitance Detection Circuit Based on Transimpedance Amplifier[J].Journal of Test and Measurement Techol,2015(1). |
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| Authors: | MU Linfeng ZHANG Wendong HE Changde XUE Chenyang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CMUT transimpedance amplifier detection circuit stray capacity sensitivity |
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