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| 结构参数对硅热流量传感器热性能的影响 | |
| 引用本文： | 高冬晖,秦明.结构参数对硅热流量传感器热性能的影响[J].仪器仪表学报,2004,25(Z1):45-46. |
| 作者姓名： | 高冬晖 秦明 |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
| 基金项目： | 江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052). |
| 摘 要： | 基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型.在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论. |
| 关 键 词： | 硅热流量传感器 热模拟 ANSYS模拟 |
Influence of Structure Parameters on the Silicon Thermal Flow Sensor |
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