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| 日本研究提高硅单晶少子寿命的最新进展 | |
| 引用本文： | 胡才雄.日本研究提高硅单晶少子寿命的最新进展[J].上海有色金属,1982(4). |
| 作者姓名： | 胡才雄 |
| 摘 要： | 众所周知,硅单晶中的少子寿命是评价硅单晶质量的重要参数之一,因而找出影响少子寿命的主要因素,从而提高少子寿命是一个具有重要意义、又很热门的课题。最近日本电报和电话大众公司发表了一篇科研报告,介绍少子寿命是与硅单晶中的氧沉淀密切有关,并深入地定量讨论了它们之间的关系。在直拉硅单晶中,由于氧浓度较高,所以硅单晶在生长后的冷却过程中或以后的热 |
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