|
|||||
|
|
| P+膜制备工艺研究 | |
| 引用本文： | 林雁飞,冯勇建,张丹.P+膜制备工艺研究[J].中国机械工程,2005,16(Z1):387-388. |
| 作者姓名： | 林雁飞 冯勇建 张丹 |
| 作者单位： | 厦门大学,厦门,361005 |
| 摘 要： | 通过对浓硼扩散工艺的介绍,讨论了沉积过程中的几个重要参数,并针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,提出了可行的解决方法. |
| 关 键 词： | 扩散 P+膜 硼硅玻璃 自停止腐蚀 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0387-02 |
| 修稿时间： | 2005年4月7日 |
Research on Fabrication for P+ Silicon Films |
|
| Lin Yanfei,Feng Yongjian,Zhang Dan.Research on Fabrication for P+ Silicon Films[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):387-388. | |
| Authors: | Lin Yanfei Feng Yongjian Zhang Dan |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |