| P+膜制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 林雁飞,冯勇建,张丹. P+膜制备工艺研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 387-388 |
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| 作者姓名： | 林雁飞 冯勇建 张丹 |
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| 作者单位： | 厦门大学,厦门,361005 |
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| 摘 要： | 通过对浓硼扩散工艺的介绍,讨论了沉积过程中的几个重要参数,并针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,提出了可行的解决方法.
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| 关 键 词： | 扩散 P+膜 硼硅玻璃 自停止腐蚀 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0387-02 |
| 修稿时间： | 2005-04-07 |
Research on Fabrication for P+ Silicon Films |
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| Lin Yanfei,Feng Yongjian,Zhang Dan. Research on Fabrication for P+ Silicon Films[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 387-388 |
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| Authors: | Lin Yanfei Feng Yongjian Zhang Dan |
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| Abstract: | |
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