| 射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究 |
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| 引用本文： | 杨莉,付亚波,陈强. 射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究[J]. 包装工程, 2008, 29(10) |
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| 作者姓名： | 杨莉 付亚波 陈强 |
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| 作者单位： | 北京印刷学院,印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,102600;北京印刷学院,印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,102600;北京印刷学院,印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,102600 |
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| 摘 要： | 以C2H2为碳源,Ar为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片上成功地制备了类金刚石(DLC)薄膜.通过红外光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测量了薄膜的沉积速率;还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究.实验结果表明,制备的DLC薄膜比较致密、均匀,有较好的耐磨性能.
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| 关 键 词： | PECVD 类金刚石膜 结构分析 摩擦性能 |
Structure and Tribological Properties of DLC Films Deposited by RF-PECVD |
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| YANG Li,FU Ya-bo,CHEN Qiang. Structure and Tribological Properties of DLC Films Deposited by RF-PECVD[J]. Packaging Engineering, 2008, 29(10) |
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| Authors: | YANG Li FU Ya-bo CHEN Qiang |
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| Keywords: | PECVD |
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