| 基于ANSYS悬臂式RF MEMS开关的力学模拟和疲劳分析 |
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| 引用本文： | 李成诗,郭方敏,赖宗声,葛羽屏,徐欣,朱自强,陆卫.基于ANSYS悬臂式RF MEMS开关的力学模拟和疲劳分析[J].半导体技术,2004,29(10):22-26. |
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| 作者姓名： | 李成诗 郭方敏 赖宗声 葛羽屏 徐欣 朱自强 陆卫 |
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| 作者单位： | 华东师范大学电子科学技术系,上海,200062;华东师范大学电子科学技术系,上海,200062;中国科学院上海技术物理所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;中国科学院上海技术物理所,红外物理国家重点实验室,上海,200083 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)
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国家自然科学基金
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上海市应用材料研究与发展基金 |
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| 摘 要： | 用ANSYS软件对RF MEMS接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸和电极面积的关系.在力电耦合分析的基础上对开关进行了疲劳特性分析,得出了开关的循环使用次数并与实验结果进行了比较,分析了数据差别比较大的原因,改进了测试开关寿命的方法.
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| 关 键 词： | RF MEMS ANSYS 力电耦合分析 疲劳分析 |
| 文章编号： | 1003-353X(2004)10-0022-05 |
| 修稿时间： | 2003年10月12日 |
Simulation and Fatigue Analysis of MEMS RF Cantilevered Beam Switch |
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| LI Cheng-shi,GUO Fang-min,LAI Zong-sheng,GE Yu-ping,XU Xin,ZHU Zi-qiang,LU Wei.Simulation and Fatigue Analysis of MEMS RF Cantilevered Beam Switch[J].Semiconductor Technology,2004,29(10):22-26. |
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| Authors: | LI Cheng-shi GUO Fang-min LAI Zong-sheng GE Yu-ping XU Xin ZHU Zi-qiang LU Wei |
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| Affiliation: | LI Cheng-shi1,GUO Fang-min1,2,LAI Zong-sheng1,GE Yu-ping1,XU Xin1,ZHU Zi-qiang1,LU Wei2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RF MEMS ANSYS coupled analysis fatigue analysis |
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