α—(SbxFe1—x)2O3半导体的固溶与导电机制的相关性 |
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引用本文: | 沈瑜生,张瑞芳.α—(SbxFe1—x)2O3半导体的固溶与导电机制的相关性[J].半导体学报,1995,16(11):874-878. |
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作者姓名: | 沈瑜生 张瑞芳 |
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摘 要: | 用化学共沉淀法,经热处理制得n型半导体α-(SbxFe1-x)2O3。XRD分析确证0≤x≤0.2是固溶体。实验发现在x≤0.03区间内材料电阻降低幅度很大,而在x=0.03 ̄0.2区间的电阻却缓慢上升,根据体系中存在SbFe^x→SbFe^-+2e缺陷平衡,讨论其原因和导电机制;相应於此缺陷平衡的Sb^3+和Sb^5+的含量由XPS分析予以证实。
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关 键 词: | 气敏材料 化合物半导体 掺杂 固溶剂 导电 |
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