不同单晶硅衬底的多孔硅的拉曼和致发光谱研究 |
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作者姓名: | 贾霖 李经建 等 |
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作者单位: | [1]北京大学物理系,北京100871 [2]北京大学化学系光电智能 |
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摘 要: | 用拉曼谱和光致发光谱研究了不同掺杂类型和掺杂浓度的单晶硅衬底上制备的多孔硅(PS)。根据拉曼谱估计了不同衬底PS的硅残留体的尺寸,结果与其它实验的结论相符。把由拉曼谱得到的PS尺寸和由光致发光谱得到的PS荧光峰能量相对比,发现单纯的量子限制模型不能统一解释不同衬底PS的光发射现象。
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关 键 词: | 多孔硅 拉曼谱 光致发光谱 单晶硅 衬底 |
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