| ZnO压电薄膜及其SAW滤波器的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 黄卫华. ZnO压电薄膜及其SAW滤波器的制备及性能研究[J]. 装备制造技术, 2009, 0(8): 41-43 |
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| 作者姓名： | 黄卫华 |
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| 作者单位： | 广西机电职业技术学院电气工程系,广西,南宁,530007 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了晶化良好的(002)取向的ZnO薄膜,用XRD、SEM表征薄膜的取向和显微结构.在ZnO薄膜上利用剥离技术制备了波长40 μm的AI叉指电极,电极厚度约为200nm,并利用矢量网络分析仪测量了ZnO薄膜声表面波特性,结果显示:声表面波中心频率为146.8MHz,声表面波在ZnO薄膜上的传播速度为5 872m/s.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 剥离 声表面波 又指电极 |
C-axis Oriented ZnO Piezoelectric thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering for saw Filters |
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| HUANG Wei-hua. C-axis Oriented ZnO Piezoelectric thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering for saw Filters[J]. , 2009, 0(8): 41-43 |
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| Authors: | HUANG Wei-hua |
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| Abstract: | |
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