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| 悬臂梁的受控源等效电路宏模型的建立及验证 | |
| 作者姓名： | 闻飞纳 李伟华 戎华 |
| 摘 要： | 针对能代表MEMS器件特征的悬臂梁结构,采用了SPICE中标准多项式受控源的形式建立悬臂梁的多模态小信号等效电路宏模型.在外力的作用下,用SPICE软件对此悬臂梁宏模型和外加电路进行了系统级的模拟,得到分布参数的力传感器的输出电压幅频特性曲线;最后采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证. |
| 关 键 词： | 悬臂梁 宏模型 受控源 SPICE 等效电路 |
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