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| 用背散射测定惰性气体在合金和单晶硅中的迁移和释放特性 | |
| 作者姓名： | 赵玉华 郑胜男 许国基 徐永昌 夏日源 谭春雨 刘清前 |
| 作者单位： | 中国科学院原子能研究所(赵玉华，郑胜男，许国基，徐永昌)，山东大学(夏日源，谭春雨)，山东大学(刘清前) |
| 摘 要： | 不锈钢和铝是重要的核装置中所用的材料,其中的惰性气体在热激活情况下的运动特性与材料在各种辐照和高温条件下的相对稳定性,辐照产生的空洞缺陷以及这些缺陷所造成的膨胀和机械性能的变化有很大关系。因而,研究在金属材料中注入的惰性气体在各种退火温度下的迁移和释放规律,将为核装置所用材料的研究、改进和开发提供必要的实验依据。 单晶硅是重要的半导体材料。在室温下,利用重离子对单晶硅进行离子注入时,当注入剂量大于10~(14)atom/cm~2时,将在与离子射程相应的深度范围内形成非晶层。这个非晶层在其后的热处理过程中可以重新结晶,根据注入离子种类和注入剂量的不同,这个非晶层可以恢复成单晶或形成多晶。研究惰性气体在这种重 |
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