| 化学气相沉积ZrO_2涂层的表面微观形貌演变 |
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| 引用本文： | 郝振华,郝安林,熊翔. 化学气相沉积ZrO_2涂层的表面微观形貌演变[J]. 粉末冶金材料科学与工程, 2015, 0(2): 237-243 |
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| 作者姓名： | 郝振华 郝安林 熊翔 |
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| 作者单位： | 1. 中南大学粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083
2. 安阳工学院,安阳,455000 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划 |
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| 摘 要： | 采用ZrCl4-CO2-H2-Ar体系,在不同温度或氢气流量条件下采用常压化学气相沉积法(APCVD)通过不同沉积流程在C/C样品表面制备ZrO2涂层。用X射线衍射分析仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分析涂层的物相组成和形貌特征。结果表明:随沉积温度升高,ZrO2涂层表面形貌由小颗粒堆积态向大尺寸多晶转变;氢气流量为0时,只在局部区域出现了少量ZrO2,当氢气流量为400mL/min时,ZrO2涂层晶粒尺寸较大且晶体学平面特征最明显;在氢气流量为800mL/min时沉积出现了副产物ZrC与C;在氢气流量为1600mL/min时,出现沉积副产物ZrC;连续沉积时,得到的ZrO2涂层为山峰状形貌。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 氧化锆涂层 微观形貌 |
Surface morphology evolution of ZrO2coatings by chemical vapor deposition |
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| HAO Zhen-hua,HAO An-lin,XIONG xiang. Surface morphology evolution of ZrO2coatings by chemical vapor deposition[J]. materials science and engineering of powder metallurgy, 2015, 0(2): 237-243 |
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| Authors: | HAO Zhen-hua HAO An-lin XIONG xiang |
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| Affiliation: | HAO Zhen-hua;HAO An-lin;XIONG xiang;State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University;Anyang Institute of Technology; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | chemical vapor deposition Zirconia coatings morphology |
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