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化学气相沉积ZrO_2涂层的表面微观形貌演变
引用本文:郝振华,郝安林,熊翔. 化学气相沉积ZrO_2涂层的表面微观形貌演变[J]. 粉末冶金材料科学与工程, 2015, 0(2): 237-243
作者姓名:郝振华  郝安林  熊翔
作者单位:1. 中南大学粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083
2. 安阳工学院,安阳,455000
基金项目:国家重点基础研究发展计划
摘    要:采用ZrCl4-CO2-H2-Ar体系,在不同温度或氢气流量条件下采用常压化学气相沉积法(APCVD)通过不同沉积流程在C/C样品表面制备ZrO2涂层。用X射线衍射分析仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分析涂层的物相组成和形貌特征。结果表明:随沉积温度升高,ZrO2涂层表面形貌由小颗粒堆积态向大尺寸多晶转变;氢气流量为0时,只在局部区域出现了少量ZrO2,当氢气流量为400mL/min时,ZrO2涂层晶粒尺寸较大且晶体学平面特征最明显;在氢气流量为800mL/min时沉积出现了副产物ZrC与C;在氢气流量为1600mL/min时,出现沉积副产物ZrC;连续沉积时,得到的ZrO2涂层为山峰状形貌。

关 键 词:化学气相沉积  氧化锆涂层  微观形貌

Surface morphology evolution of ZrO2coatings by chemical vapor deposition
HAO Zhen-hua,HAO An-lin,XIONG xiang. Surface morphology evolution of ZrO2coatings by chemical vapor deposition[J]. materials science and engineering of powder metallurgy, 2015, 0(2): 237-243
Authors:HAO Zhen-hua  HAO An-lin  XIONG xiang
Affiliation:HAO Zhen-hua;HAO An-lin;XIONG xiang;State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University;Anyang Institute of Technology;
Abstract:
Keywords:chemical vapor deposition  Zirconia coatings  morphology
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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