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| 数字式恒温装置的控温系统 | |
| 作者姓名： | 石玲 张云祥 |
| 作者单位： | 清华大学(石玲)，清华大学(张云祥) |
| 摘 要： | 介绍一种用石英温度传感器作测温元件的温度控制系统.该系统用于激光倍频和光栅的制作中,系统的温度测量精确度优于0.001℃,控温精确度可达到0.05℃. |
| 关 键 词： | 恒温装置 温度控制 石英温度传感器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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