| 扫描探针针尖与试样间静电力的解析方法 |
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| 引用本文： | 王洪喜 贾建援 赵剑. 扫描探针针尖与试样间静电力的解析方法[J]. 机械科学与技术, 2005, 24(12): 1404-1406 |
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| 作者姓名： | 王洪喜 贾建援 赵剑 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071;西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071;西安电子科技大学,机电工程学院,西安,710071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（10476019）资助 |
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| 摘 要： | 针对主体为圆锥、尖端为球冠的扫描探针物理模型,基于针尖与导体平面间电场分布假设,提出计算扫描探针针尖与导体平面间的静电力解析模型。该模型模拟计算结果与采用等效电荷方法数值计算结果相一致。
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| 关 键 词： | 针尖 静电力 静电力显微镜 |
| 文章编号： | 1003-8728（2005）12-1404-03 |
| 收稿时间： | 2004-12-09 |
| 修稿时间： | 2004-12-09 |
Analytical Method of Electrostatic Force Acting on the Scanning Tip |
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| Wang Hongxi, Jia Jianyuan, Zhao Jian. Analytical Method of Electrostatic Force Acting on the Scanning Tip[J]. Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering, 2005, 24(12): 1404-1406 |
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| Authors: | Wang Hongxi Jia Jianyuan Zhao Jian |
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| Abstract: | Based on the hypothesis of electrical field distribution between the tip and the sample,a novel analytical method is deduced for the electrostatic force acting on the conical tip ending in spherical apex.Simulation results are consistent with those of numerical method of equivalent charge distribution(ECD). |
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| Keywords: | tip electrostatic force EFM |
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