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| Steag Hamatech公司推出的溅镀单元 | |
| 摘 要： | Steag Hamatech公司推出的溅镀单元是针对DVD-5、DVD-9、DVD-10以及DVD-R、CD-R等单层光盘所需要的全反射层和半反射层设计的。该系统的设计融合了最新的溅镀技术以及工艺的高稳定性和易于维护。主要技术指标:l全反射层和半反射层形成的高稳定性l碟片沉积的准确和快速l低循环时间,高工艺可靠性l成本节约——提供银靶的利用率l高级的银靶材Mask设计l卓越的真空溅镀腔设计l高运转时间,易于维护l闭环控制——卓越的层一致性高可操控性准确和field-proven的伺服系统以及高可操控的步进电机为溅镀系统提供了快速的循环时间和高可操控性,… |
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