| 大行程纳米级二维位移工作台 |
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| 引用本文： | 王生怀,谢铁邦,王选择. 大行程纳米级二维位移工作台[J]. 机械设计与制造, 2008, 0(8) |
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| 作者姓名： | 王生怀 谢铁邦 王选择 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,武汉,470074
2. 湖北工业大学,武汉,470068 |
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| 摘 要： | 提出以双衍射光栅位移传感器作二维工作台计量标准器的方法,阐述了双衍射光栅位移传感器的位移传感原理,以及光电信号细分处理方法.结合光栅的实际参数,分析了工作台的有效分辨率.
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| 关 键 词： | 二维位移工作台 两级驱动 双衍射光栅 细分 |
2D displacement platform with large travel and nanometer resolution |
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| WANG Sheng-huai,XIE Tie-bang,WANG Xuan-ze. 2D displacement platform with large travel and nanometer resolution[J]. Machinery Design & Manufacture, 2008, 0(8) |
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| Authors: | WANG Sheng-huai XIE Tie-bang WANG Xuan-ze |
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