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微机电系统技术的发展趋势研究
引用本文:
刘锦.微机电系统技术的发展趋势研究[J].机电产品开发与创新,2008,21(4):42-44.
作者姓名:
刘锦
作者单位:
泰山医学院,山东,泰山,271016
摘 要:
微机电系统技术作为新的技术领域,已经显示出强大的生命力。本文分析了微机电系统的内涵以及分类,指出了微机电系统的发展趋势和面临的主要挑战。
关 键 词:
微机电系统
发展趋势
MEMS
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