| 微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动 |
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| 引用本文： | 李倩,刘国华,徐进良,张伟. 微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动[J]. 微细加工技术, 2008, 0(6) |
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| 作者姓名： | 李倩 刘国华 徐进良 张伟 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院广州能源研究所,微能源系统实验室,中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广州,510640;中国科学院研究生院,北京,100049
2. 中国科学院广州能源研究所,微能源系统实验室,中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广州,510640 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，广东省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用标准MEMS加工工艺,设计出了5个50μm×20μm的串联铂膜微加热器并将其置于并联流动微通道内;在脉冲加热下观察铂膜上气泡的生长行为,实验研究了主流过冷度、流速以及铂膜功率等因素对气泡生长的影响;结果表明,气泡的生长延迟间差随着主流过冷度和流速的增大而增大,随着铂膜功率的提高而缩短;高功率小流速时,气泡直径较大,但流速的提高会使气泡脱离直径变大;气泡生长的同时伴随着纵向和横向跳跃:前者与流速有关,后者与串联铂膜上气泡间的相互影响有关,但流速是影响两个方向上跳跃幅值的主要因素.
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| 关 键 词： | 铂膜微加热器 脉冲加热 流动沸腾 气泡振动 |
Bubble Controlled Growth and Oscillation on Square Pt Heater |
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| LI Qian,LIU Guo-hua,XU Jin-liang,ZHANG Wei. Bubble Controlled Growth and Oscillation on Square Pt Heater[J]. Microfabrication Technology, 2008, 0(6) |
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| Authors: | LI Qian LIU Guo-hua XU Jin-liang ZHANG Wei |
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| Affiliation: | LI Qian1,2,LIU Guo-hua1,XU Jin-liang1,ZHANG Wei1,2(1.Micro Energy System Laboratory,Guangzhou Institute of Energy Conversion,Chinese Academy of Sciences,Key Laboratory of Renewable Energy , Gas Hydrate,CAS,Guangzhou 510640,China,2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | platinum microheaters pulse heating flow boiling bubble jump |
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