用于一等量块检定的柯氏干涉仪改造 |
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引用本文: | 裴雅鹏,黄晓蓉.用于一等量块检定的柯氏干涉仪改造[J].红外与激光工程,2008(Z1). |
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作者姓名: | 裴雅鹏 黄晓蓉 |
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作者单位: | [1]北京航天计量测试技术研究所 [2]中国测试技术研究院 |
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摘 要: | 介绍了改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定,从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量不确定度,解决了一等量块长度测量问题。
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关 键 词: | 量块 柯氏干涉仪 图像采集 |
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