| 基于微结构制作的溶胶凝胶浸渍成膜特性 |
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| 引用本文： | 庞霖,严瑛白,金国藩,韦辉,郭履容.基于微结构制作的溶胶凝胶浸渍成膜特性[J].中国激光,2001,28(2):151-154. |
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| 作者姓名： | 庞霖 严瑛白 金国藩 韦辉 郭履容 |
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| 作者单位： | 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室!北京100084(庞霖，严瑛白，金国藩)，四川大学物理系信息光学研究中心!成都610064(韦辉，郭履容) |
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| 基金项目： | 中国博士后科学基金，国家863高技术资助项目 |
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| 摘 要： | 针对制作溶胶 凝胶 (sol gel)微光学元件的需要 ,对溶胶 凝胶浸渍提拉成膜过程中膜厚、均匀性等成膜特性进行了仔细考察。对于室温干燥情况 ,提拉成膜厚度与提拉速度的经验关系为 :低速时膜厚与提拉速度呈 1 2次幂关系 ;高速时则偏离以上关系 ,且随速度的增大 ,膜厚增加缓慢。对成膜过程的分析表明 ,挥发过程对溶胶 凝胶提拉成膜厚度的影响是重要的
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| 关 键 词： | 微光学元件 溶胶凝胶 浸渍提拉 |
| 收稿时间： | 1999/11/18 |
Characteristics of Sol-gel Dip-coating for Fabricating Microstructure |
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| PANG Lin,YAN Ying-bai,JIN Guo-fan.Characteristics of Sol-gel Dip-coating for Fabricating Microstructure[J].Chinese Journal of Lasers,2001,28(2):151-154. |
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| Authors: | PANG Lin YAN Ying-bai JIN Guo-fan |
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| Abstract: | In order to fabricate sol-gel microoptical elements, characteristics for dip-coating, such as the thickness of the films and the their uniformity, are investigated. Under the low withdrawal rate (<20 cm/min), thickness is linearly related to the square root of the rate. At the high rate (>20 cm/min), thickness increases slowly with the rate, deviating from above relation. An analysis of the dip-coating process shows volatilization of solvent plays a role in characteristics of the films. |
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| Keywords: | microoptical elements sol-gel dip-coating |
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