| 前驱体制备与氮化还原法合成AIN粉的物相分析 |
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| 引用本文： | 陈广乐,范仕刚,赵春霞,刘杰,何粲.前驱体制备与氮化还原法合成AIN粉的物相分析[J].真空电子技术,2009(2). |
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| 作者姓名： | 陈广乐 范仕刚 赵春霞 刘杰 何粲 |
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| 作者单位： | 中材人工晶体研究院,北京,100018 |
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| 摘 要： | 采用溶胶凝胶工艺制备了铝源和碳源的均匀混合物,分析了铝源与碳源的比例对合成氮化铝物相的影响规律,研究表明,在一定的碳铝比范围内生成很纯的氮化铝粉体,比值较小时含有较多的氧化铝相,较大时含有的碳很难排除完全,并且也容易发生氮化铝粉体的氧化,使纯度降低.对铝源与碳源的混合物通过高温氮化还原煅烧处理,分析了煅烧温度与合成物相的关系,随着温度的提高,形成的氮化铝峰明显增强,直至合成纯的氮化铝相.并与氧化铝通过氮化还原法制备氮化铝粉体的煅烧温度进行了比较,明显降低了合成纯氮化铝粉体的煅烧温度.
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| 关 键 词： | 氮化铝粉体 物相分析 溶胶凝胶工艺 |
The X Ray Diffraction Analysis of AIN Powder by Precursor Preparation and Nitrified Carbothermal Reduction Process |
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| CHEN Guang-le,FAN Shi-gang,ZHAO Chun-xia,LIU Jie,HE Can.The X Ray Diffraction Analysis of AIN Powder by Precursor Preparation and Nitrified Carbothermal Reduction Process[J].Vacuum Electronics,2009(2). |
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| Authors: | CHEN Guang-le FAN Shi-gang ZHAO Chun-xia LIU Jie HE Can |
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