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| LDSX－1100光学反应离子镀膜机 | |
| 引用本文： | 唐惠平.LDSX－1100光学反应离子镀膜机[J].中国仪器仪表,1994(6). |
| 作者姓名： | 唐惠平 |
| 作者单位： | 北京仪器厂真空技术研究所 |
| 摘 要： | ＬＤＳＸ－１１００光学反应离子镀膜机北京仪器厂真空技术研究所唐惠平北京仪器厂研制开发的ＬＤＳＸ—１１００光学反应离子镀膜机，于今年９月经厂质量检验，各项技术性能指标均达原设计要求。光学反应离子镀膜机于８０年代末在国外已有样机投入工业生产应用。瑞士巴尔... |
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