用离子束刻蚀技术制作DBR激光器用光栅

作为波长1.5μ带光通信和集成光路中的光源,InP系激光器是比较理想而有希望的,特别是分布布拉格反射型(DBR)激光器有很好的动态特性,又有希望实现单片集成化。我们用离子束刻蚀技术制成了DBR激光器用的一级布拉格反射光栅,其周期为2450(?)。本文首先概述了InP离子束刻蚀的一般特性,然后对最佳光栅格子的设计和制作方法作一较详细的论述。