气体传感器研究进展 |
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作者姓名: | 井云鹏 |
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作者单位: | 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001 |
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摘 要: | 通过对气体传感器原理和发展历程的研究和归纳,对电化学型、光学型及电学型气体传感器的原理、发展、特点以及适用范围进行了阐述。文章针对国际上目前气体传感器的发展趋势进行了详细的分析,归纳了气体传感器新原理、新材料及优化结构这三个方面的发展方向,并对应用MEMS技术研制气体传感器提出了展望。
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关 键 词: | 气体传感器 气敏元件 发展趋势 |
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