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气体传感器研究进展
作者姓名:井云鹏
作者单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001
摘    要:通过对气体传感器原理和发展历程的研究和归纳,对电化学型、光学型及电学型气体传感器的原理、发展、特点以及适用范围进行了阐述。文章针对国际上目前气体传感器的发展趋势进行了详细的分析,归纳了气体传感器新原理、新材料及优化结构这三个方面的发展方向,并对应用MEMS技术研制气体传感器提出了展望。

关 键 词:气体传感器  气敏元件  发展趋势
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