|
|||||
|
|
| 直线电机在微电子领域中的应用 | |
| 引用本文： | 刘伟.直线电机在微电子领域中的应用[J].光学精密工程,2001,9(4):311-314. |
| 作者姓名： | 刘伟 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, |
| 摘 要： | 直线电机是一种做直线运行的驱动电机.它的性能优劣直接影响到设备的精度、生产效率及产品的质量.文章介绍了如何用工业控制器和直线电机驱动器实现直线电机的超高速、高精度、无过冲、无振荡控制.直线电机的速度环由驱动器用PP算法闭合,位置环由工业控制器用带速度前馈的PID算法闭合. |
| 关 键 词： | 直线电机 工业控制器 驱动器 微电子学 |
| 文章编号： | 1004-924X(2001)04-0311-04 |
| 收稿时间： | 2001-05-15 |
| 修稿时间： | 2001年5月15日 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《光学精密工程》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《光学精密工程》下载全文 | |