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溅射法在YBCO高温超导带材制备中的应用
引用本文:王醒东.溅射法在YBCO高温超导带材制备中的应用[J].电工材料,2015(3):39-42.
作者姓名:王醒东
作者单位:富通集团有限公司,浙江富阳 311400; 富通集团 天津 超导技术应用有限公司,天津 300384
摘    要:高温超导电缆的开发正成为全球的研究热点。钇钡铜氧(YBCO)高温超导涂层导体作为高温超导电缆的载流层材料,各国正对其进行长带化研究。作为典型的真空沉积技术,溅射法在制备YBCO缓冲层材料中发挥了巨大的作用。本文介绍了溅射法的分类,重点介绍了射频溅射、磁控溅射和离子束辅助沉积技术。随着薄膜材料研究的深入,溅射法必将在包括超导在内的材料领域发挥更大的作用。

关 键 词:超导电缆  YBCO带材  溅射  离子束辅助沉积

Application of Sputtering in Preparing YBCO High Temperature Superconducting Tapes
WANG Xing-dong.Application of Sputtering in Preparing YBCO High Temperature Superconducting Tapes[J].Electrical Engineering Materials,2015(3):39-42.
Authors:WANG Xing-dong
Abstract:
Keywords:HTS cable  YBCO tape  sputtering  IBAD
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