| 基于MEMS的生物微传感技术 |
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| 引用本文： | 许媛媛,夏善红,边超,刘敬伟,孙红光,陈绍凤. 基于MEMS的生物微传感技术[J]. 传感器与微系统, 2005, 24(2): 5-7,10 |
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| 作者姓名： | 许媛媛 夏善红 边超 刘敬伟 孙红光 陈绍凤 |
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| 作者单位： | 中国科学院,电子学研究所,国家传感技术重点实验室,北京,100080 |
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| 摘 要： | 微电子机械系统(MEMS)技术为生物微传感器和生物芯片的研制以及实现小型化、便携式、低成本,高灵敏度的生化片上系统提供了有力的技术支持。综述了基于MEMS的生物微传感技术,介绍了生物微传感器和生物芯片的原理、结构、分类及应用,并探讨了其发展和应用前景。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 生物微传感器 生物芯片 片上系统 |
| 文章编号： | 1000-9787(2005)02-0005-03 |
Micro-biosensing technology based on MEMS |
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| XU Yuan-yuan,XIA Shan-hong,BIAN Chao,LIU Jing-wei,SUN Hong-guang,CHEN Shao-feng. Micro-biosensing technology based on MEMS[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2005, 24(2): 5-7,10 |
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| Authors: | XU Yuan-yuan XIA Shan-hong BIAN Chao LIU Jing-wei SUN Hong-guang CHEN Shao-feng |
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| Abstract: | MEMS has become a supporting technology in the research of micro-biosensor,biochip and biomedical SOC(system-on-a-chip) which have the advantages of miniaturization,low cost and good sensitivity.A review is given about the technologies of bioMEMS and the principle,structure,classification and application of micro-biosensors and biochips are summarized.And their development and application prospect are inquired into. |
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| Keywords: | MEMS(micro-electro-mechanical-systems) biosensor biochip SOC(system-on-a-chip) |
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