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离心辅助微模塑法制备Fe-Ni合金微流道
作者姓名:周晗  郭铁明  孟军虎  苏博
作者单位:兰州理工大学材料科学与工程学院;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室;中国科学院大学;
基金项目:中国科学院“百人计划”资助项目(孟军虎);国家自然科学基金资助项目(51375473)
摘    要:采用离心辅助微模塑方法,制备了Fe-Ni合金微流道。着重考察了分散剂含量和pH值对浆料分散性的影响,结果表明当分散剂含量为1.5wt%和pH=4时,Fe-Ni乙醇基浆料的分散性最好。用聚二甲基硅氧烷(PDMS)复制带有微结构的原始硅模板,在PDMS弹性模上采用离心注模方法进行浆料的微成形。最终制备出微结构完整、表面无裂纹、致密的Fe-Ni合金微流道,其最大线性收缩率为12.7%,致密度为97.3%,说明离心辅助微模塑法是一种可行的微器件制备方法。

关 键 词:微模塑  离心注模  Fe-Ni合金  微流道
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