| 大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究 |
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| 引用本文： | 朱目成,周肇飞,张涛. 大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究[J]. 激光杂志, 2004, 25(3): 80-81 |
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| 作者姓名： | 朱目成 周肇飞 张涛 |
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| 作者单位： | 四川大学激光应用技术研究所,成都,610065;西南科技大学制造科学与工程学院,绵阳,621010;四川大学激光应用技术研究所,成都,610065 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 2 75 10 1) |
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| 摘 要： | 介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果表明 :节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统在 2 0m范围内的测量精度达± ( 5 0 1.5× 10 - 6 L) μm(L为被测长度 ,单位为m)。
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| 关 键 词： | 双纵模激光器 大尺寸测景 节点 激光干涉仪 无导轨测量 |
| 文章编号： | 0253-2743(2004)03-0080-02 |
| 修稿时间： | 2003-12-12 |
Research on the large dimension high precision laser interferometer without guide |
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| ZHU Mu-cheng ,,ZHOU Zhao-fei ,ZHANG Tao. Research on the large dimension high precision laser interferometer without guide[J]. Laser Journal, 2004, 25(3): 80-81 |
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| Authors: | ZHU Mu-cheng ZHOU Zhao-fei ZHANG Tao |
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| Affiliation: | ZHU Mu-cheng 1,2,ZHOU Zhao-fei 1,ZHANG Tao 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | double longitudinal modes laser large size measuring node laser interferometer measurement without guide |
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