| 铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化研究 |
| |
| 引用本文： | 张树高,扈百直,吴义成,方勋华,黄伯云. 铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化研究[J]. 功能材料, 2000, 31(4): 383-384 |
| |
| 作者姓名： | 张树高 扈百直 吴义成 方勋华 黄伯云 |
| |
| 作者单位： | 中南工业大学粉末冶金国家重点实验室,湖南,长沙,410083 |
| |
| 摘 要： | 用化学共常常法制备了铟锡氧化物（ＩＴＯ）复合粉末。粉末经冷等静压成型后进行热等静压致密化。热等静压时采用碳钢作包套，采用铜箔作隔层，实验研究了热等静压工艺参数－保温温度、保压压力和保温时间对ＩＴＯ陶瓷靶材致密化的影响。实验结果表明：靶材的相对密度在大约１０００℃处有一峰值；相对密度随压力增加而增加；当保温温度较低时，适当处长保温时间有利于提高密度；当保温温度较高时，延长保温时间反而使密度降低，分析
|
| 关 键 词： | 铟锡氧化物 陶瓷靶材 热等静压 致密化 |
| 文章编号： | 1001－9731(2000)04－0383－02 |
| 修稿时间： | 1999-05-04 |
Investigation on Densification of ITO Ceramic Target by Using HIP Technique |
| |
| ZHANG Shugao,HU Baizhi,WU Yicheng,FANG Xunhua,HUANG Baiyun. Investigation on Densification of ITO Ceramic Target by Using HIP Technique[J]. Journal of Functional Materials, 2000, 31(4): 383-384 |
| |
| Authors: | ZHANG Shugao HU Baizhi WU Yicheng FANG Xunhua HUANG Baiyun |
| |
| Affiliation: | ZHANG Shugao,HU Baizhi,WU Yicheng,FANG Xunhua,HUANG Baiyun(Powder Metallurgy National Key Laboratory,Central South University of Technology,Changsha,410083,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ITO ceramic target HIP densification |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
