| 基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试 |
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| 引用本文： | 董海峰,郝一龙,贾玉斌,闫桂珍,王颖,李婷. 基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试[J]. 半导体学报, 2004, 25(12): 1606-1611 |
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| 作者姓名： | 董海峰 郝一龙 贾玉斌 闫桂珍 王颖 李婷 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京大学微电子学研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京大学微电子学研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京大学微电子学研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京大学微电子学研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京大学微电子学研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于北京大学硅玻璃键合深刻蚀释放工艺的扩展工艺,用来加工微型隧道加速度计.采用HP4145B半导体分析仪在大气环境下对所加工的器件进行了开环测试,验证了隧道电流的存在以及隧道间隙与隧道电流之间的指数关系.实验结果外推出的隧道势垒的范围为1.182～2.177eV.大部分器件的开启电压在14～16V之间.在-1,0和+1g三种状态下对开启电压分别进行了测试,得到加速度计的灵敏度约为87mV/g.
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| 关 键 词： | 隧道效应 加速度计 微机电系统 |
Fabrication and Characterization of Tunneling Current of Anodic Bonded Dry-Etched MEMS Tunneling Accelerometer |
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| Dong Haifeng,Hao Yilong,Jia Yubin,Yan Guizhen,Wang Ying,Li Ting. Fabrication and Characterization of Tunneling Current of Anodic Bonded Dry-Etched MEMS Tunneling Accelerometer[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2004, 25(12): 1606-1611 |
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| Authors: | Dong Haifeng Hao Yilong Jia Yubin Yan Guizhen Wang Ying Li Ting |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tunneling effect accelerometer MEMS EEACC:0580 7280 2575 |
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