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| 准平面型InSb光伏列阵红外探测器 | |
| 引用本文： | 俞振中,王留福,陈新强,沈寿珍,葛友放,胡文军.准平面型InSb光伏列阵红外探测器[J].红外与毫米波学报,1984,3(2). |
| 作者姓名： | 俞振中 王留福 陈新强 沈寿珍 葛友放 胡文军 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 (俞振中，王留福，陈新强，沈寿珍，葛友放)，中国科学院上海技术物理研究所(胡文军) |
| 摘 要： | 在台式光敏面基础上,采用SiO_2介质掩蔽,金属膜延伸电极和衬底区超声引焊电极引线,研制成InSb光伏型列阵的准平面型器件。由本工艺制备的器件具有无串音、结阻抗高、反向耐压高、稳定性好等良好性能。 |
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