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| 采用快速微分输出的氯气传感器 | |
| 作者姓名： | 李昕欣 郎海宁 庞世信 |
| 作者单位： | 复旦大学电子工程系传感器研究室，机械部沈阳仪器仪表工艺研究所国家传感器工程中心 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型氯气传感器。通过对敏感材料的研究和采用混合集成电路工艺，使器件具有较高的可靠性和批量制造能力。通过对化学吸附平衡方式的敏感特性的研究，提出以微分输出信号作为检测信号的方式，从而实现了在３秒钟内响应输出的高敏感速度，并使器件实现频繁的重复测量而重复性误差很小。最后介绍了利用该传感器和微分检测电路构成的工业氯气报警系统 |
| 关 键 词： | 氯气 传感器 微分输出 |
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