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| 低能电子衍射(LEED)仪的超高真空系统 | |
| 作者姓名： | 蔡思民 徐治 陆家和 |
| 作者单位： | 清华大学无线电电子学系(蔡思民，徐治)，清华大学无线电电子学系(陆家和) |
| 摘 要： | 低能电子衍射(LEED)仪是一种基本的表面仪器。它可以对绝大多数单晶物质的表面结构进行非破坏性的测定。到目前为止,所得到的绝大多数表面结构信息是用LEED获得的。LEED要求分析室内真空度为10～(-10)托量级[1]。这是因为 LEED是测定清洁的单晶表面结构。以及表面重构和表面上吸附气体形成的新结构。无论是哪一种,在测定时,都要求分析室内的残余气体在样品表面上的吸附,不要明显地影响所测定的结果。还因为,在有的测定中,在样品退火处理时。就要求分析室内的真空度优于5 × 10～(-9)托[2]。总之,LEED仪对真空度的要求。在表面仪器中… |
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