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四路激光跟踪柔性坐标测量系统的跟踪器设计
引用本文:隋修武,张国雄,李杏华,刘欣丽. 四路激光跟踪柔性坐标测量系统的跟踪器设计[J]. 仪器仪表学报, 2005, 26(12): 1253-1257
作者姓名:隋修武  张国雄  李杏华  刘欣丽
作者单位:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
摘    要:激光跟踪器是激光跟踪坐标测量系统的关键部件。采用双电机驱动的单转镜结构,模拟式的P ID与单片机的数字式P ID相结合的闭环控制方案,设计了一种新型的激光跟踪器。该跟踪器具有跟踪快速、平稳,反射基点在跟踪过程中保持不动,跟踪精度高等优点,并成功的应用于四路激光跟踪柔性坐标测量系统。实验表明,激光跟踪测量系统的有效跟踪速度优于0.4m/s,综合测量精度1.2μm。

关 键 词:激光干涉仪  激光跟踪系统  坐标测量机  PID  光电位置检测器  单片机
修稿时间:2004-05-01

Design of the Tracker in Four-beam Laser Tracking Flexible Coordinate Measuring System
Sui Xiuwu,Zhang Guoxiong,Li Xinghua,Liu Xinli. Design of the Tracker in Four-beam Laser Tracking Flexible Coordinate Measuring System[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2005, 26(12): 1253-1257
Authors:Sui Xiuwu  Zhang Guoxiong  Li Xinghua  Liu Xinli
Abstract:
Keywords:Laser interferometer Laser tracking system Coordinate measuring machine PID Position sensitive device Microcomputer unit
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
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