| 磁悬浮转子微陀螺的设计技术 |
| |
| 引用本文： | 张卫平,陈文元,吴校生,赵小林,崔峰,黄晓刚,刘武.磁悬浮转子微陀螺的设计技术[J].光学精密工程,2004,12(Z1):1-5. |
| |
| 作者姓名： | 张卫平 陈文元 吴校生 赵小林 崔峰 黄晓刚 刘武 |
| |
| 作者单位： | 张卫平（上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030）;陈文元（上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030）;吴校生（上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030）;赵小林（上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030）;崔峰（上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030）;黄晓刚（上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030）;刘武（上海交通大学,微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030） |
| |
| 基金项目： | 国家863项目(2002AA745120);上海市科委上海市科委2002年重大项目"微机电系统"中的子项目--"先进惯性传感器" |
| |
| 摘 要： | 磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的.
|
| 关 键 词： | 磁悬浮转子微陀螺 MEMS 设计 准LiGA技术 试验 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)03-0001-05 |
| 收稿时间： | 2004/2/22 |
| 修稿时间： | 2004年2月22日 |
Design on micromachined gyroscope with electromagnetic levitating rotor |
| |
| ZHANG Wei-ping,CHEN Wen-yuan,WU Xiao-sheng,ZHAO Xiao-lin,CUI Feng,HUANG Xiao-gang,LIU Wu.Design on micromachined gyroscope with electromagnetic levitating rotor[J].Optics and Precision Engineering,2004,12(Z1):1-5. |
| |
| Authors: | ZHANG Wei-ping CHEN Wen-yuan WU Xiao-sheng ZHAO Xiao-lin CUI Feng HUANG Xiao-gang LIU Wu |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
