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| Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究 | |
| 引用本文： | 仲逸飞,刘景全.Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究[J].传感器与微系统,2022(1):7-9,14. |
| 作者姓名： | 仲逸飞 刘景全 |
| 摘 要： | 以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器.使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件.在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能.研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定.在5... |
| 关 键 词： | 微型加热器 微机电系统 Evanohm合金 低温 |