| 高能重离子辐照制备SiOC复合材料的研究 |
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| 引用本文： | 刘纯宝,赵志明,王志光,宋银,金运范,孙友梅,刘杰,姚存峰,臧航.高能重离子辐照制备SiOC复合材料的研究[J].核技术,2007,30(4):328-331. |
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| 作者姓名： | 刘纯宝 赵志明 王志光 宋银 金运范 孙友梅 刘杰 姚存峰 臧航 |
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| 作者单位： | 中国科学院近代物理研究所,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100049;中国科学院近代物理研究所,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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中国科学院‘西部之光'人才培养计划联合学者项目 |
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| 摘 要： | 用120 kev碳离子注入非晶SiO2薄膜,再用高能Xe、Pb和U离子辐照.注碳剂量范围为2.0×1017-8.6×1017 cm-2,高能离子辐照剂量1.0×1010-3.8×1012 cm-2.辐照后的样品用傅里叶变换红外光谱仪进行系统分析.实验结果显示,高能离子辐照在注碳非晶SiO2薄膜中形成了大量的Si-O-C键和Si-C键.这些Si-O-C结构具有环链、开链和笼链等多种结构形式.随电子能损、辐照剂量或者沉积能量密度的增加,SiOC结构由类笼向环/开链结构演化.对高能重离子驱动产生SiOC结构的机理进行了简单的讨论.
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| 关 键 词： | 重离子辐照 注入 SiOC |
| 修稿时间： | 2007-01-12 |
Preparation of SiOC composite material using high-energy heavy ion irradiation |
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| LIU Chunbao,ZHAO Zhiming,WANG Zhiguang,SONG Yin,JIN Yunfan,SUN Youmei,LIU Jie,YAO Cunfeng,ZANG Hang.Preparation of SiOC composite material using high-energy heavy ion irradiation[J].Nuclear Techniques,2007,30(4):328-331. |
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| Authors: | LIU Chunbao ZHAO Zhiming WANG Zhiguang SONG Yin JIN Yunfan SUN Youmei LIU Jie YAO Cunfeng ZANG Hang |
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| Affiliation: | Institute of Modem Physics, the Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000;2.Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Heavy ion irradiation Implantation SiOC |
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