| 电子束辐照PET薄膜制备有序多孔阵列高分子模板 |
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| 引用本文： | 郝旭峰,周瑞敏,吴新锋,周菲,邓邦俊,费舜廷.电子束辐照PET薄膜制备有序多孔阵列高分子模板[J].核技术,2007,30(11):952-955. |
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| 作者姓名： | 郝旭峰 周瑞敏 吴新锋 周菲 邓邦俊 费舜廷 |
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| 作者单位： | 上海大学射线应用研究所,上海201800 |
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| 基金项目： | 上海市纳米科技专项基金
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上海市重点学科建设项目 |
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| 摘 要： | 本文用掩膜工艺电子束蚀刻技术产生具有潜影的聚酯(PET)薄膜,经强氧化液(浓硫酸与重铬酸钾的混合液)腐蚀,产生有序微米多孔阵列PET模板.讨论了辐照剂量、腐蚀时间以及腐蚀温度等因素对基膜蚀刻和腐蚀的影响.结果表明:随着辐照剂量、腐蚀温度和腐蚀时间的增加,PET基膜更易被腐蚀.IR、DSC测量结果表明:辐照导致化学键的断裂、非晶化转变,是导致辐照PET薄膜的腐蚀失重率增加的原因.用此方法制备了孔径大小一致的微米级有序多孔阵列PET模板.
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| 关 键 词： | 模板 PET 掩膜 电子束蚀刻 腐蚀 |
| 修稿时间： | 2007-06-27 |
Template preparation of EB irradiated PET membrane |
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| HAO Xufeng,ZHOU Ruimin,WU Xinfeng,ZHOU Fei,DENG Bangjun,FEI Shunting.Template preparation of EB irradiated PET membrane[J].Nuclear Techniques,2007,30(11):952-955. |
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| Authors: | HAO Xufeng ZHOU Ruimin WU Xinfeng ZHOU Fei DENG Bangjun FEI Shunting |
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| Affiliation: | Shanghai Applied Radiation Institute, Shanghai University, Shanghai 201800 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Template PET Mask EB etching Corrode |
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