新型MEMS电容真空传感器的设计及其分析

为了延伸MEMS电容式真空传感器测量范围、提高抗过载能力,设计了一种新型岛状结构下电极。利用有限元方法分析该结构与传统结构真空传感器的压力-挠度、压力-电容、压力-薄膜应力关系。研究发现,与传统结构相比,新型结构真空传感器的低压灵敏度更高、线性输出性能更好、抗过载能力更强,可为MEMS电容式真空传感器研制提供参考。