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| 激光微加工应用潜力的调查 | |
| 作者姓名： | 楼祺洪 高鸿奕 |
| 作者单位： | 楼祺洪: 高鸿奕: |
| 摘 要： | 微加工的一个极为重要的应用是集成电路芯片的制造，因为集成电路芯片尺寸在变小而电路复杂度却不断增加。激光微加工技术对两个方面皆有贡献，既能提高电路复杂度，又不多占芯片空间。随着高级终端微处理器和控制芯片的管脚数目超过２０８个，一些独创性的技术如球状格子... |
| 关 键 词： | 激光微加工 应用 调查 微加工 |
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