| 基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究 |
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| 引用本文： | 吉喆,闫树斌,胡阳,刘鑫,严英占,王少辉. 基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究[J]. 纳米科技, 2009, 6(2): 33-37 |
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| 作者姓名： | 吉喆 闫树斌 胡阳 刘鑫 严英占 王少辉 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051;中北大学电子测试技术国防重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西,太原,030051 |
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| 基金项目： | 基金项目：国家自然科学基金项目（60707014,60778029）.国家973前期预研项目（2006CB708308）,山西省重点实验室开放基金项目（200603020,200603008）.电子测试技术国防重点实验室资助项目（9140C1204040706） |
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| 摘 要： | 以平面环形微腔结构为核心器件，基于量子力学的隧道效应和“参量振荡不稳定”效应，结合理论计算及ANSYS和Beamprop仿真，设计出基于环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器，特别是在1．55μm的谐振波下，对所设计的位移传感器进行了ANSYS力学仿真、Beamprop传输特性仿真以及输出特性数值模拟，论证了位移传感器的可行性，并为以后的实验奠定了基础。
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| 关 键 词： | 平面环形微腔 隧道效应 参量振荡不稳定 位移传感器 |
Research on High Sensitivity Displacement Sensor Based on Planar Ring Micro-cavity Structure |
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| JI Zhe,YAN Shu-bin,HU Yang,LIU Xin,YAN Ying-zhan,WANG Shao-hui. Research on High Sensitivity Displacement Sensor Based on Planar Ring Micro-cavity Structure[J]. , 2009, 6(2): 33-37 |
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| Authors: | JI Zhe YAN Shu-bin HU Yang LIU Xin YAN Ying-zhan WANG Shao-hui |
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| Affiliation: | (National Key Laboratory For Electronic Measurement Technology, Key Laboratory Of Instrument Science ＆ Dynamic measurement Ministry Of Education, North University Of China, Taiyuan 030051, China) |
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| Abstract: | Describe a novel displacement sensor with high sensitivity based on the tunneling effect and the parametric instability using the planar ring micro-cavity structure as the core component. Design the structure according to theoretical calculation, ANSYS simulation and Beamprop simulation. Especially under the 1.55μm incident wave, simulate and analyze the output characteristic values of this structure which prove the feasibility of such sensor, and have laid the foundation for later experiments. |
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| Keywords: | planar ring micro-cavity tunneling effect parametric instability displacement sensor |
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