| 半球陀螺金属化膜层的均匀性模拟分析 |
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| 引用本文： | 贺海平,蒋春桥,李陟.半球陀螺金属化膜层的均匀性模拟分析[J].压电与声光,2016,38(6):938-941. |
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| 作者姓名： | 贺海平 蒋春桥 李陟 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所， 重庆 400060 |
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| 基金项目： | 重点预研基金资助项目(9140A09012015DZ36025) |
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| 摘 要： | 该文将光学模拟技术与镀膜工艺结合,采用光线追踪程序来模拟溅射粒子在振子表面膜层的分布状态。通过模拟和相关实验验证,当设备相对角度β=10°、φ=60°时,振子表面膜层的均匀性最高,模拟值与实际测试值匹配度较好,误差在7%以内。
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| 关 键 词： | 半球谐振陀螺 金属化 镀膜 模拟 均匀性 |
Simulation Analysis of the Uniformity of Hemispherical Resonator Gyroscope's Metallic Film |
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| HE Haiping
JIANG Chunqiao
LI Zhi.Simulation Analysis of the Uniformity of Hemispherical Resonator Gyroscope's Metallic Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2016,38(6):938-941. |
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| Authors: | HE Haiping
JIANG Chunqiao
LI Zhi |
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| Affiliation: | 26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Chongqing 400060, China |
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| Keywords: | hemispherical resonator gyroscope metallization magnetron sputtering film deposition simulation uniformity |
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